| Uczestnicy
 Politechnika Rzeszowska
 IMP PAN
 IPPT PAN
 ITWL
 Politechnika Częstochowska
 Politechnika Lubelska
 Politechnika Łódzka
 Instytut Lotnictwa
 Politechnika śląska
 Politechnika Warszawska
 Uniwersytet Rzeszowski
 SGPPL Dolina Lotnicza
 Akademia Górniczo-Hutnicza



Uniwersytet Rzeszowski

Partner



Rektor Uniwersytetu Rzeszowskiego
prof. dr hab. Sylwester Czopek

Biuro Rektora
35-959 Rzeszów, al. T. Rejtana 16c
tel.: +48 17 872 10 10
faks: +48 17 872 12 65
e-mail: rektorur@univ.rzeszow.pl




      Na Uniwersytecie Rzeszowskim funkcjonuje Centrum Naukowo-Dydaktyczne Mikroelektroniki i Nanotechnologii, które powstało w wyniku realizacji Projektu w ramach Programu Operacyjnego Infrastruktura i Środowisko, oś priorytetowa XIII, działalność 13.1 Infrastruktura Szkolnictwa Wyższego.
      Kompleks Naukowo-Dydaktyczny Centrum Mikroelektroniki i Nanotechnologii Uniwersytetu Rzeszowskiego uzupełnia istniejącą lukę infrastrukturalną w regionie podkarpackim, dotyczącą najnowszych technologii i metod badań. Powstały obiekt będzie służył jako baza naukowo-dydaktyczna dla nowych specjalności:

  • nanoelektronika na kierunku fizyka techniczna
  • nanotechnologia i nowe materiały dla lotnictwa na kierunku inżynieria materiałowa
  • bioinżynieria medyczna, bioinformatyka, biotechnologia analityczna oraz biomateriały na międzywydziałowym kierunku biotechnologia
Ponadto planuje się utworzenie studiów II stopnia na kierunku inżynieria materiałowa o specjalnościach:
  • technologie materiałowe
  • materiały nanokompozytowe i funkcjonalne
  • nanoelektronika
Do podstawowych zadań Centrum należy także:
  • Prowadzenie badań naukowych w zakresie nanostruktur i materiałów nanokom- pozytowych (materiały te zajmują coraz ważniejsze miejsce w budowie maszyn).

  • Opracowanie technologii wytwarzania materiałów nanokompozytowych dla przemysłu lotniczego i wdrożenie ich w produkcję w przedsiębiorstwach Doliny Lotniczej.

Jednostki Centrum Naukowo-Dydaktycznego Mikroelektroniki i Nanotechnologii:

  1. Laboratorium Technologiczne MBE i Kontroli Jakości Nanostruktur - będzie zawierać dwa reaktory MBE: jeden dla związków II-VI, zaś drugi dla związków III-V. Reaktory zostaną połączone transferem wysokopróżniowym. Pierwszy reaktor pozwoli na otrzymanie warstw MCT oraz MZC, w tym nanostruktur na ich bazie. Drugi da możliwość wyhodowania nanostruktur InGaAs oraz InAlAs. Wzrost warstw będzie kontrolowany on-line metodą RHEED.

  2. Laboratorium Technologiczne Fotolitografii i Litografii Elektronowej - umieszczone jest w pokojach czystych 1 i zostało podzielone na dwa stanowiska. Pierwsze stanowisko do nanolitografii wykorzystuje elektronowy mikroskop skaningowy, który jest wyposażony w dodatkowe źródło jonowe (mikroskop w konfiguracji dual beam) oraz dedykowany układ sterujący firmy Raith. Tak skonfigurowany system umożliwia wytwarzanie nano-wzorów dwoma metodami:

    • metodą litografii elektronowej wraz z procesem chemicznego trawienia - tzw. trawienie mokre
    • metodą litografii jonowej - tzw. trawienie suche

          System nanolitografii elektronowo-jonowej powinien umożliwić wykonanie wzorów z rozdzielczością co najmniej 20 nm.

          Drugim systemem dedykowanym litografii jest stanowisko klasycznej fotolitografii wykorzystujące światło ultrafioletowe. W skład systemu wchodzą: wirówka do nanoszenia fotorezystów (emulsji światłoczułych) - spin coater, płyta grzewcza do utrwalania fotorezystu (hot plate), urządzenie do wyrównywania i naświetlania próbek (tzw. mask aligner) oraz układ wywoływania po procesie naświetlania.

  3. Laboratorium Naukowe Magnetotransportu w Nanostrukturach - wyposażone będzie w system magnesu nadprzewodzącego generującego pole magnetyczne do 12 tesli. Dzięki wykorzystaniu w nim 3He będą możliwe pomiary w zakresie temperatur 0,3 K - 300 K. W laboratorium będą prowadzone badania transportu elektronowego w strukturach półprzewodnikowych o obniżonej wymiarowości (2D, 1D, 0D) wytworzonych w Laboratorium Epitaksji z wiązek molekularnych. W szczególności będą wykonywane pomiary:

    • kwantowego całkowitego efektu Halla (IQHE)
    • oscylacji Szubnikowa de Hassa (SdH)
    • rezonansu magnetofononowego (MPR) próbek o nietypowej architekturze przygotowanych w Laboratorium Litografii.

          Uzyskane wyniki pomiarów posłużą do przygotowania materiałów do kwantowej elektroniki dla przemysłu. Wysokiej klasy sprzęt pomiarowy umożliwi równoczesne pomiary czterech próbek metodą stało- lub zmiennoprądową, zaś mierzone sygnały na poziomie mikro i nanowoltów będą zbierane i archiwizowane. Całość systemu sterowana będzie dzięki oprogramowaniu napisanym w środowisku LabVIEW.

  4. Laboratorium Naukowe Luminescencji Niskotemperaturowej wyposażone będzie w wysokiej jakości sprzęt optyczny do pomiaru mikroluminescencji w otrzymanych nanostrukturach przy niskich temperaturach.

  5. Pracownie studenckie, gdzie studenci będą przygotowywani do prowadzenia pomiarów nanostruktur w temperaturach 4 K (-269oC) i niższych:

    • Pracownia Studencka Technologii Komputerowych Systemów Pomiarowych
    • Pracownia Studencka Zjawisk Transportowych w Strukturach Półprzewodnikowych
    • Pracownia Studencka Zjawisk Optycznych w Strukturach Półprzewodnikowych
Kontakt:
ul. S. Pigonia 1
35-959 Rzeszów
tel.: +48 17 872 11 06
tel./faks: +48 17 872 12 83
e-mail: nano@univ.rzeszow.pl


_____________________________________________________________________________

1 W ramach Projektu zostały stworzone pokoje czyste (clean room - "czysty pokój"). Są to pomieszczenia o kontrolowanych parametrach środowiskowych, w szczególności zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne. Pracownicy wchodzący i opuszczający pomieszczenie o wysokim stopniu czystości muszą zrobić to przez śluzę powietrzną wyposażoną w prysznic powietrzny.